欧美日韩网,日韩v亚洲v欧美v精品综合,日东京人妻99,五月婷色婷婷

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  光刻機的工藝主要有光復(fù)印和刻蝕兩種

光刻機的工藝主要有光復(fù)印和刻蝕兩種

更新時間:2023-02-22  |  點擊率:1070
  光刻機,是一個全新的、已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗證過的新型光刻曝光機以及晶圓對晶圓(W2W)接合曝光和測試系統(tǒng),可滿足用戶對更高光刻精度的需求。業(yè)內(nèi)向更小結(jié)構(gòu)和更密集封裝生產(chǎn)轉(zhuǎn)型的趨勢帶來了眾多的新挑戰(zhàn),如對更高精度的要求,因為這將嚴(yán)重影響設(shè)備的偏差律,并最終影響生產(chǎn)效率和增加成本。
 
  它應(yīng)用的系統(tǒng)可提高對準(zhǔn)精度,范圍從1μm-0.1μm,從而為生產(chǎn)廠家在先進微電子、化和物半導(dǎo)體、硅基電功率、三維集成電路和納米等幾乎所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供了解決方案。
 

 

  它的技術(shù)原理:
 
  光刻機就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。
 
  這就是它的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。
 
  其技術(shù)是一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。常規(guī)光刻技術(shù)是采用波長為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,然后把圖像信息傳遞到晶片或介質(zhì)層上的一種工藝。
 
  在廣義上,光刻機包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個主要方面:
 
  1、光復(fù)印工藝:經(jīng)曝光系統(tǒng)將預(yù)制在掩模版上的器件或電路圖形按所要求的位置,精確傳遞到預(yù)涂在晶片表面或介質(zhì)層上的光致抗蝕劑薄層上;
 
  2、刻蝕工藝:利用化學(xué)或物理方法,將抗蝕劑薄層未掩蔽的晶片表面或介質(zhì)層除去,從而在晶片表面或介質(zhì)層上獲得與抗蝕劑薄層圖形一致的圖形。集成電路各功能層是立體重疊的,因而光刻工藝總是多次反復(fù)進行。例如,大規(guī)模集成電路要經(jīng)過約10次光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。
久久精品无码一区二区动图| 成人在线一区二区| 国产91精品无码麻豆| 久久综合伊人中文字幕| 成人噜噜色| 国产精品资源一区二区| 粉嫩高清一区二区三区精品视频| 一级a毛片永久免费观看网站| 国产后入内射| 超碰东京热少妇| 精品亚洲中文字幕东京热网站 | 黑人无码链接| 欧美色图小说亚洲| 亚洲国产精品高清在线第1页| 久久午夜无码鲁丝片午夜精品 | 成人精品福利久久福利| 大杳焦伊人久久综合福利 | 新妹妹窝wwww| 在线观看国产黄色大片| 91麻豆宅女福利視頻| 久久伊人热热精品中文字幕| 中文久久蜜桃| 人妻中出一区二区三区| 精品人妻中文一区二区中文| 亚洲乱亚洲乱妇50p| 久久免费视频网站| 南平市| 国产日韩欧美久| 四季AV一区二区三区免费观看| 东京热双飞| 91蜜臀一区二区| 天天躁夜夜躁狠狠综合2020 | 亚洲欧美国产视频| 超碰国产精品无码日韩| 无码精油按摩潮喷在播放| 欧美大片黄色成年日韩国产| 六九精品人人| 西欧free性满足hd老熟妇| 九九99久久精品国产| 精品一区二区亚洲欧美日本| 欧美人妻综合|