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晶圓表面缺陷檢測:半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...

  • 2020-11-02

    光學(xué)厚度測量儀是一種可以檢測薄膜、金屬等材料厚度的儀器,而經(jīng)過厚度是否均勻,從而確定薄膜、金屬等材料的各項物理性能指標(biāo)。因為這些材料如果厚度不一致,那么不僅會導(dǎo)致材料的拉伸強度受到破壞,阻隔性下降,還會為材料的后期加工帶來不利的影響。該測量儀只是檢測金屬、薄膜、板材、橡膠、紙張、塑料的質(zhì)量和性能的基本方法。它所測量的對象往往是一些對厚度有一定要求的材料,其中,包括了金屬箔片,而金屬箔片還包括了鋁箔、銅箔、錫箔等?,F(xiàn)在由于儀器的改進,厚度測試儀已經(jīng)漸漸成為確保各種材料能夠得到進...

  • 2020-11-02

    美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點:1、*封閉的設(shè)計,溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel,提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可調(diào)式實時應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點,對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶遍及*,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實時應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列:M系列高精度型;S系列實時型;M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測量時間<45s,測量速度快。2、空間分辨率高,低噪聲。3、操作方...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設(shè)計,使用壽命大于5000小時,同時FS-1的設(shè)計結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性??偟膩碇v,F(xiàn)S-1是一臺簡單易用的緊湊型設(shè)計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點:1、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護。2、測量精度只有用本儀器才能達到。3、快速多次測量(多波長數(shù)據(jù)在10毫秒)且長期可靠性。4、長壽命(50000小時),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時校正或周期維護。5、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極...

  • 2020-10-22

    Herz氣浮式被動隔振臺采用了先進的減振技術(shù),其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下:Herz氣浮式被動隔振臺技術(shù)參數(shù):1、減振方式:垂直方向-HERZ減振空氣彈簧,水平方向-Herz高性能水平振動隔離系統(tǒng);2、空氣彈簧數(shù):4-6;3、阻尼方式:垂直方向通過節(jié)流孔進行空氣阻尼,水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼;4、固有頻率:垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時);5、調(diào)平方式:帶有3個機械式自動調(diào)平傳感器;6、供氣方式:需要外部氣源;7、所需氣壓:0.3~0.7MP...

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