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美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

美國FSM 高溫薄膜應力及基底翹曲測試設備：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備。

StrainScope Flex可調(diào)式實時應力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

實時型StrainScope S3/S4 應力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

拼接型StrainMatic stepper應力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶廣，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

德國ilis公司成立于1998年，專業(yè)研發(fā)制造高精度應力雙折射分析軟件與測量設備，薄膜應力測試儀采用成像式光彈原理，直接測量光延遲，可以快速給出高分辨率的高精度測量結(jié)果。